概述
产品系列
功能
特点
应用
案例

自动化检测设备

专为镜面自由曲面进行可靠的表面检测而研发设计，能可靠的检出肉眼不可见的反光部件的形状偏差和外观缺陷。

自由曲面
三维面型检测仪

专为镜面自由曲面进行可靠的表面检测而研发设计，能可靠的检出肉眼不可见的反光部件的形状偏差和外观缺陷。

参数型号

TR1O4OA

TRO22OA

TRO21OA

测量范围

700mm×550mm
7°×2°（ *）

400mm×300mm
10°×6°（ *）

300mm×200mm
10°×10°（ *）

工作距 (器件到投影屏)

270mm

170mm(到屏幕)

150mm

Z测量重复精度

＜±10um(*)

＜±5um(*)

＜±3um(*)

分辨率（XYZ）

XY＜300um; Z＜0.5um

XY＜200um; Z＜0.2um

单次测量时间

＜455(*)

调整原理

相位测量偏折法

设备尺寸

12cm×133cm×151cm

软件分析功能

1、3D测量点云输出
2、点云匹配（测量点云与面型公式）
3、高度误差、斜率误差、曲率误差

*随口径和凹凸面变化

产品功能

3D测量点云输出

点云匹配（测量点云与面型公式）

高度误差、斜率误差、曲率误差

表面缺陷：畸变（失真）、麻点、划痕等

产品特点

高精度微米级检测精度，可靠检测镜面和反射面的形状偏差和外观缺陷

高速度采用偏折法测量，速度远快于接触式检测

应用灵活可集成到生产线或搭配机械手使用，可在线和离线使用

可定制化全部核心硬件、软件自主研发，可根据用户需求定制

透明件也可直接检测，无需喷粉处理，使用方便

应用举例

HUD反射镜/后视镜/手机后盖汽车玻璃

HUD反射镜

后视镜

手机后盖

汽车玻璃

应用领域

镜面反射自由曲面3D面型测量和缺陷检查

适用于HUD反射镜、手机盖板玻璃、汽车玻璃（透明）、汽车后视镜、AR镜片或半导体晶圆的质量评估

AR
镜片

玻璃
盖板

汽车
玻璃

HUD
反射镜

2022-09-26

长步道高反形貌自由曲面3D面型测量仪

高反光部件的形状偏差和外观缺陷检测

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